85UHP超高纯压力传感器.pdf

产品介绍：

        85UHP型号是一款可焊接的紧凑型压力传感器，具有介质兼容性，其MEMS压阻式芯片集成在316L不锈钢或C276合金模块中，并填充有硅油，通过正面薄薄的波纹隔膜传递压力。

        该产品专为OEM设计和制造，旨在满足客户对半导体应用过程中持续时间超过TE标准85 ISO胶囊的需求。它提供了多种润湿材料选择，并针对超高纯度和超高真空场景优化了表面粗糙度，利用TE先进的MEMS技术，实现了无与伦比的精度和稳定性。

• C276或316L不锈钢接触液体表面材料 - 可选 

• 补偿式或非补偿式 - 可选  

• 10-3 Pa的高真空稳定性 

• 0.1%量程/年的长期稳定性 

• 绝对压力测量  

• 13mm膜片直径

特性

• 高真空稳定性

• F105标准湿表面（C276合金变体）

• 工作温度范围：-40ºC至+125ºC

• 压力非线性度高达±0.1%

• 固态可靠性

应用

• 气体柜

• 质量流量控制器

• 高纯度气体输送系统

• 压力和流量控制

• 半导体工艺